Zeiss Merlin FE-SEM
Unser Labor nutzt ein Merlin FE-REM der Firma Zeiss.
Rasterelektronenmikroskopie (REM) wird zur hochauflösenden Darstellung stark vergrößerter Objekte verwendet. Standardmäßig kann eine Ortsauflösung im Submikrometer-Bereich erreicht werden. Unser hochauflösendes Feldemissions-REM ist mit einem EDX-Detektor ausgetstattet, der zudem chemische Analytik ermöglicht. Mit einem EBSD-Detektor können Kristallorientierungsmessungen in geologischen und metallurgischen Proben durchgeführt werden.
HR-FESEM Zeiss Merlin Gemini II
- Hersteller: Zeiss
- Modell: Merlin, Gemini II
Elektronensäule
- Elektronenquelle: thermischer Schottky-Feldemitter (Strahlstabilität besser als 0.2% / Stunde)
- Beschleunigungsspannung: 0.1 – 20/30 kV
- Bildauflösung: 0.8 nm bei 15kV, 1.4 nm bei 1kV (für 40 nA Konfiguration)
Detektoren
- Everhardt-Thornley-Detektor für Sekundärelektronen (in der Probenkammer)
- Inlens-Detektor für Sekundärelektronen
- Rückstreuelektronendetektor BSD4 (in der Probenkammer)
- Inlens: Energy selective backscattered Detektor (EsB)
- EDX silicon drift Detektor N-Max (150 mm2), Oxford Instruments (127 eV Energieauflösung)
- EBSD detector Nordlys mit zwei Forescatter-Dioden (Oxford Instruments, 0.1° Winkelauflösung)
Vakuumsystem
- Edwards Scrollpumpe nXDS15i
- Turbomolekularpumpe
- Zwei Ionengetterpumpen für die Elektronenkanone
Zusätzliche Ausstattung
- Gasinjektionssystem zur Ladungskompensation
- Plasmacleaner
- Große Probenkammer mit Probenschleuse (schneller Probenwechsel)
- Super-euzentrischer Probentisch mit sechs Achsen
- Chamber scope
Peripherie
- EDX/EBSD Aztec Crystal 4.3 Software
- Steuer-PC für EDX/EBSD-Messungen
- Offline-Auswerte-PC für EDX/EBSD-Analytik
- Link Box zur Kontrolle der Forescatter-Dioden
- Umwälzkühler