| Hauptziel des beantragten
Teilprojektes B9 ist die Entwicklung von
Verfahren zur Mikrostrukturierung von
superelastischen NiTi-Filmen und
Röhrchen, die mittels der
Magnetron-Sputter-Technik im Reinraum des
Forschungszentrums caesar hergestellt
werden. Diese sollen als Prototypen für
neue Anwendungen vorwiegend im Bereich
medizinischer Implantate beispielsweise
als Stents für neurovaskuläre
Anwendungen und als Emboliefilter
weiterentwickelt werden. Konkretes Ziel
ist die Entwicklung eines
dreidimensionalen Beschichtungsverfahrens
für die Herstellung von dünnwandigen
Formgedächtnisröhrchen und die
Entwicklung eines dreidimensionalen
lithographischen
Strukturierungsverfahrens. Darüber hinaus sollen
ternäre „Mittel-“ und „Hochtemperatur“-Formgedächtnislegierungen
auf Basis des Sputterverfahrens
hergestellt und untersucht werden. In
diesem Zusammenhang sollen
kombinatorische Verfahren zur Herstellung
und Hochdurchsatzcharakterisierung
ternärer und quaternärer
Formgedächtnislegierungen entwickelt und
eingesetzt werden, insbesondere
automatisierte elektrische
Widerstandsmessungen zur Identifikation
von Phasenübergängen.
Die Reinraumtechnologie des
Forschungszentrums caesar kann genutzt
werden, um spezielle
Miniaturisierungspotentiale im Bereich
der Aktorik im Rahmen von
Kooperationsprojekten des SFB
auszuschöpfen. Zu diesem Zweck stehen
neben der Magnetronsputtertechnik auch
photolithographische Methoden sowie Nass-
und Trockenätztechnik bei caesar zur
Verfügung. Das Projekt hat klare
Forschungsziele (Eigenforschung) und
spielt im SFB459 außerdem die Rolle
eines Serviceprojektes, da die
kostspielige Reinraumtechnologie anderen
Projektpartnern zur Realisierung ihrer
Miniaturisierungsprojekte zur Verfügung
gestellt wird.
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